第660章 再开新局!

不只是水管电网,更有为维持恒温恒湿而设的精密空调管道、输送超纯水和特种气体的超高洁净管路、以及处理有毒废气的复杂化学过滤系统。

洁净室(Clean Room)的建造更是达到了艺术级的苛刻。

空气净化系统采用三级过滤,末端是高效粒子空气过滤器(HEPA),

目标是将空气中大于0.1微米的粒子数量控制在每立方米不超过100个(百级洁净度),关键区域甚至要达到十级。

所有建筑材料必须是无尘、不产尘的特殊材质,地面是导静电环氧涂层,墙壁是光滑的金属板。

施工人员穿着全套防尘服,像进行外科手术一样进行安装,每完成一个区域,立即进行封闭和清洁。

“这里的一粒灰尘,未来都可能导致一颗价值成千上万元的芯片报废。”

祁同伟穿着工装鞋,戴着安全帽,穿行在正在安装巨大风管和层流天花板的施工现场,对陪同的基建负责人强调,

“洁净度是生命线,测试必须用最严格的标准,模拟未来生产时的最大负荷。

任何一项指标不达标,推倒重来!”

设备采购与进场,则是一场遍布全球的、充满智慧与凶险的“暗战”。

“麒麟”生产线需要的不仅仅是光刻机,还有刻蚀、薄膜沉积、离子注入、化学机械抛光、计量检测等上百种、超过千台套的高端设备。

整机进口高端型号是痴人说梦。解决方案是祁同伟提出的“化整为零,曲线救国,系统集成”。

通过“涓流”计划建立起的复杂国际贸易网络和特殊渠道被全速激活。

一台标注为“二手印刷机械”的集装箱,从荷兰某港口启运,经新加坡中转,最终抵达临海港。

开箱后,里面是数台被拆解成核心模块的上一代步进扫描光刻机,虽然型号不算最新,但核心的投影物镜和精密工件台状态尚可。

几箱来自日本的“精密光学仪器配件”,实则是某型号刻蚀机的关键射频电源和反应腔体部件........

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