基地内新建成的、达到千级洁净标准的首条实验产线车间里,灯火通明,却鸦雀无声。所有人都屏住呼吸,目光聚焦在生产线末端的那台自动测试机上。
经过长达四十八小时不间断的运行,第一批采用汉东自研光刻胶、自调工艺参数,在整合调试完毕的生产线上流片的测试芯片,终于完成了最后的封装,被送入测试机。
祁同伟、王明远、赵蒙生(岭南军区司令员)、梁群峰、赵立春、李达康、靳开来,以及所有核心技术人员,都静静地站在测试间外,透过玻璃窗,看着里面闪烁的指示灯。
测试工程师的手指有些颤抖,按下了启动键。
机器发出轻微的嗡鸣,探针卡精准地落在芯片的焊盘上。
时间仿佛凝固了。
小主,
几秒钟后,测试机屏幕上的数据开始疯狂跳动,绿色和红色的指示灯交替闪烁。
然后,屏幕中央,跳出了一个清晰的提示框:
“Device ID: HD-CX001”
“Function Test: PASS”
“Parametric Test: 98.7% within Spec”
“Overall Yield: 76.3%”
“Result: PASS”
通过了!
虽然只是最基础的数字逻辑功能测试,虽然良率只有76.3%,虽然制程是落后国际主流数代的2.5微米……
但这意味着,从硅片进线,到光刻、刻蚀、离子注入、薄膜沉积、互连、封装、测试……整整上百道复杂工序,首次实现了全线贯通!产出的芯片,具备了预设的逻辑功能!
汉东,第一次,完全依靠自己的力量,打通了芯片制造的全流程!实现了从零到一的突破!
“成功了!”
“我们做出来了!”
“汉东芯片!我们自己的芯片!”
短暂的死寂后,巨大的欢呼声、掌声、甚至喜极而泣的哭喊声,在车间内外猛然爆发!许多人拥抱在一起,跳着,叫着,泪水模糊了眼眶。
王明远院士老泪纵横,紧紧握住祁同伟的手,嘴唇哆嗦着,说不出话。
赵蒙生将军一向严肃的脸上,也露出了难得的、欣慰的笑容,向祁同伟郑重地敬了一个军礼。