所以在没有办法完成量产的情况之下，每一个零件都需要工程师去磨，那样子耗费太高。

林曦月放下手中的资料，朝他们招招手，带他们走到研究室更里面一点。

一进到里面，满墙的资料映入眼帘。

严谨跟曹育华两人不用林曦月指示，直接上手将相关资料放在桌面上让他们看。

徐院士一看到那一叠资料封面上的几个大字，像是明白了什么似的难以置信的看向林曦月。

她竟然将生产光刻机所需要的机器也设计出来了？

罗甘低头看向那叠资料，低声念道：“准分子激光器？”

林曦月笑着点点头，“嗯，这是准分子激光器的生产资料，光刻机需要体积小、功率高而稳定的光源，并且对于光源的波长也有所要求，这是准分子激光器的生产资料，能够生产出适合3n光刻机的光源。”

徐院士震惊的翻着那堆资料，里面还真的是完整且相当详细的生产资料。

“你将光刻机的生产机器都列出来了？”

这不仅是列出来了，还直接研究出来了，相当于直接把饭喂到嘴里，就问你吃不吃吧？

林曦月笑着摇摇头，光刻机的零件那么多，她怎么可能全部都研究一边。

“咱们也有光刻机的相关附属项目，我查了，那些项目有很多都是对光刻机的零件进行研究，所以有的零件我并没有列出来，只需要假意改装就可以。”

“那镜头你是怎么解决的？”

光刻机的镜片相当重要，高数值孔径的镜头决定了光刻机的分辨率以及套值误差能力。

何国那台最顶尖的光刻机里的镜头，是由光学领域在全球范围内最领先的z公司供应。

华国在镜头方面的技术相对来说比较落后，这也是一个比较难以攻克的点。