“冷却系统成功处理掉镜片吸收的热量。”
随着严谨的声音在寂静的研究室里响起,其余人的脸上开始越来越激动。
这个数据可以说是目前世界上最好的镜头了吧!
要知道国外的镜头就算做的再好,镜片对euv的吸收率都要30。
但是光刻机中,一整个反射系统就需要十一枚这样的反射镜。
这也导致最后真正用于光刻芯片的光强只剩些2。
林曦月的嘴角弯起,露出一抹笑容,这个数据的镜头,已经够用了。
华国现在的镜头都需要从国外引入,有了它,国外都得来跟华国引入镜头!
“老大!我们做出来了!成功了!”严谨汇报完数据,看着真空状态下的镜头,神情激动地说道。
林曦月点点头,“嗯,做出来了。”
镜头算是他们做光刻机的一大门槛,所以他们才会那么激动。
方院士抹了抹脑门上的汗,这个数据,总算是没有白费力气。
想着镜头成功了,林曦月想给他们几人放个假休息一天。
没想到却被众人给拒绝了。
“老大,我们不需要休息。”
“对啊老大,我们要一鼓作气!再接再厉哈哈哈哈”
严谨也一脸严肃的点点头,“我们要等光刻机真的成功再休息!”
见几人一脸光刻机不出来我们不放假的模样,林曦月哭笑不得的摇摇头。