林曦月也没有对他遮掩什么,毕竟对方是光电所的所长,没必要遮掩。
她向严谨招招手,一旁的严谨从包里掏出一叠资料,在桌面上铺开。
“罗所长,请看,这是我们这段时间整理的资料。”林曦月翻开资料,一一的讲解。
“现在咱们国家主要引入的是duv光刻机,也叫深紫外线光刻机,主要用于10-130n芯片的制作,这也是因为duv光刻机的技术相对成熟,所以即使霉国想剥夺我们的duv自由,甚至多次提出相关的议案,都被这些公司给驳回。”
“光电所目前主要研究的也是duv,但是这一次我们项目主要研究的是euv光刻机,也叫极紫外线光刻机”
罗甘原本想说咱们连duv都研究不来呢,还想着研究euv?
只是还没等他问出口,林曦月就让他稍安勿躁,接着往下听。
“euv光刻与duv光刻不同,它采用波长为10-14纳米的极紫外光作为光源”
随着渐渐的听下去,罗甘的脸色越来越严肃,眼里也充满对林曦月的震惊。
第207章 真是被猪油蒙了心了
罗甘听完后,沉默了许久,突的他又想到一个问题。
“euv光刻机的量产问题”
是啊,euv制造虽然很难,但是它的量产是一个很大的问题。
林曦月露出一个浅浅的笑容,这一次不用她伸手,严谨就已经将资料摊开在桌面上。
“关于量产问题,我们有以下方案”
罗甘被那一沓资料震得瞪大了双眼,你们项目组都做的这么齐全吗?
这尼玛连量产的问题都想到了?
还做了那么多个方案?